超级过滤精密度测量方法：
目前已经开发出的颗粒检测技术能够让过滤芯厂商在实验室的环境下测量这种小颗粒的过滤效率。这种技术在于将 UPW 蒸发变成气态雾状的创新方法。即让来自UPW 的颗粒保持气相，进而使其能通过常规气态颗粒检测仪精确测定颗粒的尺寸和数量。
这种方法今天已经广泛用来评估大多数 UPW 系统所采用的超滤模块的过滤性能。该测试显示，尽管这些超滤模块具有很高的过滤精密度，但一些极小的颗粒仍能穿透过过滤芯，因而给半导体厂商带来风险。该测试方法还进一步显示，一种过滤精密度极高的微滤（MF）过滤芯能够截留大部份的微小颗粒。最终，验证了同时采用超滤模块（UF）和高精密度微滤（MF）过滤芯的过滤系统对小至12nm的颗粒展现了卓越的过滤效果。
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